ISOクラス1迄のクリーンルーム向け製品

半導体製造装置やマイクロエレクトロニクスにおける ピックアンドプレース用途に。
イグスは技術を上げてコストを下げるクリーンルーム向け製品を提供

クリーンルームではいかなる汚染も製品やプロセスに悪影響をおよぼすため、可動部品には高い耐摩耗性が求められます。 それには当然コストがかかります。 イグスは高性能ポリマー製品を開発し、自社クリーンルーム試験室で細心の注意を払って試験を行っています。加えて、クリーンルーム適合性を証明するため、製品はフラウンホーファー研究所にて更なる試験を受けます。 これによりイグスでは、IPA試験済みの製品ポートフォリオを、可能な限り最高のクリーンルーム分類(ISOクラス1)で提供することが可能になります。
イグスのクリーンルーム製品の利点:
  • 省スペース・軽量
  • 静音、低振動
  • 短納期、取付が簡単
  • エナジーチェーンは開閉が簡単で、ケーブルを素早く交換可能
  •  無償交換保証付きの長い耐用年数: 5000万往復ストローク以上
  • エナジーチェーン、ケーブル、コネクタは単体でも組立品としても1個から注文可能、すべてを1社から提供 
新提案2022
測定可能な摩耗のないクリーンルーム用エネルギー供給システム
 
クリーンルーム用のフラットなケーブルガイドシステムと撚り構造のCFCLEAN
フリースパン走行を可能にする新しいe-skin flat用サポートチェーン

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新提案2022

スタンド型モーションプラスチックサンプルBOX

イグスコーナーでは、各業界に適した最新のモーション・プラスチックをいつでも手にすることができます。  
 
当社が展示品をお持ちし、ご希望製品をご希望場所に設置します。またはご自身で設置していただくことも可能です。コーナーは常設展示として、または期間限定でご利用いただけます。
無料請求はこちら


クリーンルーム対応製品

エナジーチェーン

クリーンルームで使用されるエナジーチェーンには、優れた耐摩耗性が必要です。発生した微粒子が空中に飛散し、厳しい制限基準値を上回り、該当エリアを汚染してはいけません。
クリーンルーム用エナジーチェーン

可動ケーブル及びホース

IPA ISOクラス1及び2のエアホース、豊富な可動ケーブル。Bosch Rexroth、Festo、Parker、Siemensを始めとした多数のメーカーに適合する、すぐに接続可能なハーネス品もご用意。
クリーンルーム向け可動ケーブル

リニアガイド

イグスはクリーンルーム向けの無給油リニアガイドの製品ラインナップにおいて、ISOクラス6~3に対応した4つのモデルを提供しています。
クリーンルーム用ドライリン

ロータリーテーブルベアリング

PRT-04-100のイグリデュールJ製すべりパッドは、粉塵の発生を最小限に抑えることができるため、クリーンルームでの使用が可能です。
PRT-04 ロータリーテーブルベアリング

 

    簡単、安全に洗浄:
    衛生的なデザインのドライギアApiroの開発

    Apiroの衛生的なデザイン
    • オープンデザインにより簡単で安全に洗浄できる、コストパフォーマンスに優れた高機能ポリマー製ギアボックス
    • 手動およびモータ駆動のモジュラー式キット
    • 調整
    • 高速変換が可能
    • 組み付け時に専用工具は不要
    • 製品の互換性あり
       

    世界初 ...

    ... i.Cee EC.Sによるクリーンルーム内の寿命予測計算

    このクリーンルーム向け新コンセプトでは、スマート超音波センサー技術を使用して、サポートチェーン付きe-skin flatシステムの電流低下を継続的に監視します。サポートチェーンSKF.S付き e-skin flatは、曲げ半径が定義されているため、クリーンルームでのフリースパン走行が可能です。エナジーチェーンシステムの劣化が危険域にあることが検知されると、すぐにメンテナンス推奨通知が出ます。

    クリーンルームクラス別の製品ラインナップ

    ISO 14644-1FED STD 209EGMP(非動作)最大粒子数(0.5ミクロン)m³最大粒子数(0.5ミクロン) f³基準を満たすイグス製品
    1N/A N/A エナジーチェーンケーブルコルゲートチューブエアホース
    2N/A N/A 同上
    31 35 同上 + リニアガイド
    410 352 同上
    5100A/B3.520100同上
    61.000 35.200997同上
    710.000C352.0009.967同上
    8100.000D3.520.00099.675同上
    9N/A 35.200.000996.747同上
     

    GMPとFED STD 209Eのデータは、あくまでも大まかな比較用であり、細菌汚染などの他の要因は考慮していません。 お客様のプロジェクトに合った構成をお探ししますので、お気軽にご相談ください。


    お客様の迅速な開発をサポートするISO 14644-14準拠のクリーンルームテスト


    クリーンルームに適合する新たな可動部向け製品を一段と迅速に開発するため、開発・認証におけるパートナーであるフラウンホーファー研究所(IPA)は、イグスの依頼を受けて、ISOクラス1のクリーンルームに対応する専用試験室をケルンにて設計し構築しました。
    この新しい試験室により、事前のユーザーテストや新規開発を短期間で実際の使用条件の下行うことが可能です。
     
    イグスのクリーンルーム試験室について

    クリーンルーム使用事例


    クリーンルーム製品に関するQ&A

    クリーンルーム製品は高まり続ける要件に対応していますか?
    クリーンルーム内の用途に対する品質要求事項は、お客様からの要求事項や試験基準とともに高まり続けているため、イグスは継続的な製品の改善に取り組んでいます。このため、イグスは1997年から社内試験施設でクリーンルームの適合性に関する試験を実施しています。 該当製品はさらに、フラウンホーファー研究所による外部試験を受けています。

    イグスのベアリングはクリーンルームに適していますか?
    イグリデュールすべり軸受のクリーンルーム適合性は、用途において放出される摩耗粒子に基づいて決定されます。放出される摩耗粒子のサイズと量は、以下の条件によって異なります。 
    • 軸と軸受材質の組み合わせ
    • 負荷や速度等、その他のパラメータ
    そのため、当社のすべり軸受には明確にクリーンルーム材質と定義されたものはなく、用途によって必要な材質は異なります。当社が最適な材質選定をサポートします(お問合せフォームはこちら)。
    クリーンルーム向け製品ラインナップ 例:弊社エナジーチェーンの利用

    さらに詳しく

    クリーンルーム対応製品パンフレット

    クリーンルーム製品パンフレット

    クリーンルームクラス、RoHS、ESDに関するイグス製品の情報
    PDF(英語版)ダウンロード(7.6MB)
    ESDおよびクリーンルーム向け製品ラインナップ

    ESD対策向け情報

    イグスのESD対策向けイグミッド材質に関する詳細情報。
    メンテナンスフリーの導電性、イグミッドESD