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イグス株式会社

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ドライリンのクリーンルーム適合性およびESD互換性およびRoHS

試験されたドライリン リニアガイドは、クリーンルーム適合性を明確に示しました。 ただし、個々のクリーンルームクラスは速度や負荷によって異なることがあります。 硬質アルマイト処理アルミニウムとイグリデュールJとの組合せは、SEMI E78-0998に準拠したESD適合性において「レベル1」(最高評価)を取得しています。
 
ドライリン リニアガイドは全て無潤滑使用向けに設計され、無潤滑下で試験済みです。 追加の潤滑油やグリスは使用していません。

以下のドライリン リニアガイドを試験しました: N40、W10、T25、T30。

ドライリンリニアガイ NK-02-40-02

「イグス製リニアガイド ドライリンNK-02-40-02は、速度v = 1m/sにおいて、各検出サイズ(0.2μm、0.3μm、0.5μm、5μm)の限界値超過の確率計算により、ISOクラス6(DIN EN ISO 14644-1準拠)のクリーンルームへの明らかな適合性が推定される。 「
SEMI E78-0998に準拠したESD適合性の計測結果から、ドライリン リニアガイドNK-02-40-02は「レベル1」に分類される。」 フラウンホーファー研究所(IPA)レポートNo.: IG 0308- 295 73

ドライリン リニアガイドTK-01-30-01

「イグス製ドライリン リニアガイドTK-01-30-01は、速度v = 0.1m/sにおいて、各検出サイズ(0.2μm、0.3μm、0.5μm、5μm)の限界値超過の確率計算により、ISOクラス3(DIN EN ISO 14644-1準拠)のクリーンルームへの明らかな適合性が推定される。 “

ドライリン リニアガイドTK-01-25-02

「イグス製ドライリン リニアガイドTK-01-25-02は、速度v = 1m/sにおいて、各検出サイズ(0.2μm、0.3μm、0.5μm、5μm)の限界値超過の確率計算により、ISOクラス5(DIN EN ISO 14644-1準拠)のクリーンルームへの明らかな適合性が推定される。 「
SEMI E78-0998に準拠したESD適合性の計測結果から、ドライリン リニアガイドTK-01-25-02は「レベル1」に分類される。」

リニアガイド ドライリンWK-10-40-15-01

「イグス製リニアガイド ドライリンWK-10-40-15-01は、速度v = 1m/sにおいて、各検出サイズ(0.2μm、0.3μm、0.5μm、5μm)の限界値超過の確率計算により、ISOクラス6(DIN EN ISO 14644-1準拠)のクリーンルームへの明らかな適合性が推定される。」 「
SEMI E78- 0998に準拠したESD適合性の計測結果から、リニアガイド ドライリンWK-10-40-15-01は「レベル1」に分類される。」 フラウンホーファー研究所(IPA)レポートNo.: IG 0308-295 74

ドライリンNK-02-40-02

摩耗粒子の測定

ドライリンTK-01-25-02

摩耗粒子の測定

ドライリンWK-10-40-15-01

摩耗粒子の測定

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