測定システム向け無潤滑スピンドル軸の導入事例

• カスタマイズ性
• 費用対効果
• クリーンルーム対応
• ターンキー対応

ベルギーのArt Roboticsは、エネルギー業界およびリサイクル業界向けに、スマート技術を活用した知能的で持続可能なソリューションの開発に注力しています。同社の中核技術は、ロボティクス、IoT、AIです。
Art Roboticsは、顧客の1社であるUmicore向け案件で特有の課題に直面しました。Umicoreはサーキュラーマテリアル技術分野のリーディングカンパニーであり、高性能な光電子デバイス、太陽光発電デバイス、電子機器向け材料を製造しています。同社の研究開発部門では、同等の品質を維持しながら、より軽量で廃棄物の少ない、コスト効率の高い材料を実現する新しいプロセスを常に模索しています。こうしたイノベーションを支えるために、ウェハー向けの新しい測定システムとツールが必要でした。
問題は、これらが既製品として存在せず、ゼロから開発しなければならないことでした。革新的でターンキーのソリューションを、迅速かつ費用対効果高く開発できる経験豊富なパートナーが必要でした。さらに、このシステムはクリーンルーム環境で動作する必要がありました。

Art Roboticsは、イグス製コンポーネントの支援を受けて、まったく新しいソリューションを開発しました。スピンドル軸、モーター、モーター制御など、すべてのコンポーネントを完全なシステムとして統合し、顧客要件を満たしました。結果として、ウェハー仕様を定量化するための特別な測定セットアップが実現しました。
イグスのドライブテクノロジー部品を含むこのシステムは、特に薄い次世代ウェハー（< 200 µm）にも対応できるうえ、高い荷重を制御しながら加えることができ、正確な測定結果を提供します。専用のグラフィカルユーザーインターフェースを備えたプラグアンドプレイソフトウェアとD1モーターコントローラーの組み合わせにより、測定の設定および実行も容易です。
測定はクリーンルーム環境で行われるため、すべてのコンポーネントはクリーンルーム対応です。これは卓上型システムであり、コンパクトで人間工学に配慮され、安全に操作できます。また、このシステムはイグスのドライブテクノロジー製品と同様に、将来の機能拡張を見据えたモジュール構造で設計されています。