連絡先
イグス株式会社

〒130-0013 東京都墨田区錦糸1-2-1

アルカセントラル15階

03(5819)2030
03(5819)2055

クリーンルーム用ケーブルキャリア及び可動ケーブル

オーダーメイドのクリーンルーム試験室。ISO 14644-14に準拠したクリーンルーム試験

イグスは 約20年にわたり、 クリーンルームにおける給電システムとして選ばれ続けています。 イグスは IPA試験済みでクリーンルーム内の機械や設備に適合し、 取付けが簡単なエナジーチェーンを幅広く提供しています。 クリーンルーム内における要件が厳しさを増す中、 イグスは絶え間ない製品改善を行っています。 ユーザーの要望にさらに迅速に対応するため、イグスはフラウンホーファー研究所(IPA)と共同で、粒子フリーのモーション・プラスチックを開発するクリーンルーム試験室を構築しました。 この試験室は、  ISO 14644-1に準拠した空気清浄度クラス1にまで適合しています。

クリーンルーム用ケーブルキャリア「エナジーチェーン」

9,000点もの エナジーチェーン 型式 が、クリーンルームISOクラス1~5認証済み1)

eスキンおよびeスキンフラット

eスキンおよびeスキンフラット

お勧め: モジュラー式の開閉型コルゲートチューブ及びフラットケーブルガイドシステム

  • 取付け高さ: 80mm~
  • 最大フリースパン長さ1.3m
  • クリーンルームISOクラス1

エナジーチェーン T3シリーズ

エナジーチェーン T3シリーズ

高い柔軟性、極めて低振動

  • 内高さ hi: 29mm
  • 内幅 Bi: 30 ~120mm
  • 曲げ半径 R: 38mm
  • ピッチ: 15mm

エナジーチェーン E3シリーズ

エナジーチェーン E3シリーズ

小さな必要取付スペース、非常に静音

  • 内高さ hi: 10~22mm
  • 内幅 Bi: 20~60mm
  • 曲げ半径 R: 32~75mm
  • ピッチ: 16.7mm

エナジーチェーン E6.1シリーズ

エナジーチェーン E6.1シリーズ

非常に静音、極めて低振動

  • 内高さ hi: 29~80mm
  • 内幅 Bi: 30~140mm
  • 曲げ半径 R: 55~150mm
  • ピッチ: 22mm

エナジーチェーン E6シリーズ

エナジーチェーン E6シリーズ

非常に静音

  • 内高さ hi: 29~80mm
  • 内幅 Bi: 30~120mm
  • 曲げ半径 R: 55~150mm
  • ピッチ: 22mm

ISOクラス1のクリーンルーム用コンポーネントに対応したイグス独特のクリーンルーム試験室

クリーンルーム試験室

イグスの新設クリーンルーム試験室は、粒子フリーのモーション・プラスチックを迅速に開発するため、フラウンホーファー研究所(IPA)によって構築されました。

モジュラー式層流ボックス

例えば、エナジーチェーン eスキンのテストは、ISO 14644-14に準拠し、モジュラー式層流ボックスで実施されます。  

イグスの革新的なクリーンルーム技術が、試験室のテストに合格!

半導体製造では、エナジーチェーンやケーブル等の部品の粒子発生に関して、非常に厳しい要求があります。 クリーンルームに適合する新たなモーション・プラスチックを一段と迅速に開発するため、フラウンホーファー研究所(IPA)は、ISOクラス1のクリーンルーム専用の試験室をイグスの依頼を受けて設計・構築しました。 この新しい試験室により、事前のユーザーテストや新規開発を 短期間で実際の使用条件の下行うことが可能です。

全ての試験結果

様々なエナジーチェーンが、フラウンホーファー研究所(IPA)によるDIN EN ISO 14644-1の試験を受けています。 そのため現在では、ほとんどの汎用的なエナジーチェーンについて、クリーンルームでの使用可能性を正確に知ることができます。
 


DIN EN ISO 14644-1の試験結果
エナジーチェーン型式レポートNo.速度
[m/s]
    
ISOクラス1SKS28.068.02.1 eスキンソフト + ケーブルIG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISOクラス1SKY28.068.02.1 eスキンハイブリッドIG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISOクラス1SKF12.3.03.0106 eスキンフラットIG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISOクラス1SKF12.3.03.0101 eスキンフラットIG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISOクラス1SKF12.3.03.0102 eスキンフラットIG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISOクラス10.SKY28.068.02.1 eスキンハイブリッドIG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISOクラス10.SKS28.068.02.1 eスキンソフト IG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISOクラス10.SK28.068.02.1 eスキンIG 1907-11250,5 / 1,0 / 2,0
ISOクラス1E61.29.050.075.0IG1303-6400,5 / 1,0 / 2,0
ISOクラス1E3.15.040.075.0IG0704-4000,5 / 1,0 / 2,0
 

その他の試験結果

 


DIN EN ISO 14644-1の試験結果
エナジーチェーン型式レポートNo.速度
[m/s]
    
ISOクラス21500.050.038.0IG1303-640-10,5 / 1,0 / 2,0
ISOクラス2T3.29.050.038.0IG1303-640-10,5 / 1,0 / 2,0
ISOクラス2E14.3.038.0IG0308-2950,5 / 1,0 / 2,0
ISOクラス32500.05.055.0IG0308-2950,5 / 1,0 / 2,0
ISOクラス3E6.29.060.150.0IG0704-4000,5 / 1,0 / 2,0
ISOクラス5E4.32.10.063.0IG1303-640-10,5 / 1,0 / 2,0
    
    
    
    
 

クリーンルーム用可動ケーブル

1,084点の全ての チェーンフレックス可動ケーブル は、IPAによるISOクラス1/クラス2認証済み1) 
918点はクリーンルームIPAクラス1
166点はクリーンルームIPAクラス2

制御・動力ケーブル CFSOFT

制御・動力ケーブル CFSOFT

  • 高負荷に対応
  • PVC外被
  • 難燃性
  • 耐紫外線性
  • 最小曲げ半径: 6.8~8.5 x ケーブル径

バスケーブル CFBUS.LB

バスケーブル CFBUS.LB

  • 高負荷に対応
  • TPE外被
  • ハロゲンフリー
  • 耐油・耐紫外線性

制御・動力ケーブル CF130.UL

制御・動力ケーブル CF130.UL

  • 中程度の負荷に対応
  • PVC外被
  • 難燃性
  • 最小曲げ半径: 7.5~10 x ケーブル径

制御・動力ケーブル CF9.UL

制御・動力ケーブル CF9.UL

  • 最高負荷に対応
  • TPE外被
  • 耐油性
  • PVCフリー、ハロゲンフリー
  • 低温下で高い屈曲性
  • 最小曲げ半径: 5 x ケーブル径

データケーブル CF240

データケーブル CF240

  • 中程度の負荷に対応
  • PVC外被
  • 耐油性
  • 難燃性
  • 最小曲げ半径: 10~12 x ケーブル径

動力ケーブル CF34.UL.D

動力ケーブル CF34.UL.D

  • 最高負荷に対応
  • TPE外被
  • 耐油・耐紫外線性
  • 難燃性
  • 最小曲げ半径: 7.5 x ケーブル径

エアホース クリーンエア

エアホース クリーンエア

  • 最高負荷に対応
  • PEホース
  • 耐油性、耐クーラント性
  • 優れた耐摩耗性
  • 最小曲げ半径: 10 x ケーブル径

全ての試験結果

同一外被のケーブルを数に入れると、カタログ掲載のチェーンフレックス可動ケーブルの約80%が、DIN EN ISO 14644-1によるISOクラス1または2の認証を受けています。


DIN EN ISO 14644-1の結果
チェーンフレックスケーブルレポートNo.速度
[m/s]
可動使用で測定
ISOクラス2CFSOFTIG0704-400型式 E6.29.060.100.CR内に収納、v= 0.5 / 1.0 / 2.0 m/s
ISOクラス1CFBUS.LBIG0704-400型式 E6.29.060.150.CR内に収納、v= 0.5 / 1.0 / 2.0 m/s
ISOクラス1CF130.05.12.ULIG1303-640-1型式 E61.29.50.075.0.CR内に収納、v= 0.5 / 1.0 / 2.0 m/s
ISOクラス1CF130.15.07.ULIG1303-640-1型式 E61.29.50.075.0.CR内に収納、v= 0.5 / 1.0 / 2.0 m/s
ISOクラス1CF240.02.24IG1303-640-1型式 E61.29.50.075.0.CR内に収納、v= 0.5 / 1.0 / 2.0 m/s
ISOクラス1CF34.UL.25.04.DIG0704-400型式 E6.29.060.150.CR内に収納、v= 0.5 / 1.0 / 2.0 m/s
ISOクラス1CF9.15.07IG0704-400型式 E6.29.060.150.CR内に収納、v= 0.5 / 1.0 / 2.0 m/s
ISOクラス1CFクリーンエアIG0704-400型式 E6.29.060.150.CR内に収納、v= 1.0 m/s
ISOクラス2CF5.10.07IG0704-400型式 E6.29.060.150.CR内に収納、v= 0.5 / 1.0 / 2.0 m/s


フラウンホーファーIPAテスト

動作中、周囲に放出される粒子はできるだけ少なくする必要があります。 これはエナジーチェーンや可動ケーブルのような、可動部での機械部品にとって特に重要です。 粒子の放出を最小限に抑えるには、耐用年数の指標でもある、高い耐摩耗性が必要となります。 これは、すべてのイグス製品の開発目標の一つです。 イグスでは、どの製品に対しても自社試験施設において綿密な試験を行っています。 当社試験施設での基準を満たした時点で初めて、製品がIPAフラウンホーファー研究所で試験されます。
数多くのイグス製品が、IPAフラウンホーファー研究所の評価試験を受け、 最も優れた等級であるISOクラス1 の認証を得ています


お客様の使用事例


クリーンルーム用製品の試験

摩耗粒子測定

摩耗粒子測定

例として、E14がクリーンルーム内使用という繊細な環境において試験されました。
 
試験結果: E14及び上記エナジーチェーン全てが、優れた耐摩耗性を有し、クリーンルーム要件を満たすことが確認されました。


1)イグスのエナジーチェーン eスキン、E6、E6.1、T3、E3、E2/000、E4.1およびEZチェーンの各シリーズが、フラウンホーファー研究所(IPA)でDIN EN ISO 14644-1による試験を受け、ISOクラス1~クラス5の認証を取得(レポートIG1303-640-1、IG0704-400、IG308-295およびIG 1907-1125)。 つまり、同一構造/同一原理のエナジーチェーンの製品ラインナップ9,000以上の製品がこれに相当します。
2) ドライリン「T」、「N」、「W」の各サイズが、フラウンホーファー研究所(IPA)でのDIN EN ISO 14644-1による試験でISOクラス3~クラス6の認証を取得(レポートIG308-295)。
同一構造/同一原理のドライリン製品ラインナップ197製品がこれに相当します。