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クリーンルームでの高速運転

ウエハー技術

集積回路施設のウエハー技術に使用されたイグスのエナジーチェーンE6シリーズはその工程を加速させます。 最大加速度4m/s2、最大速度6m/sは、エエナジーチェーンE6シリーズで実現することができます。 切粉が発生する分野では、高いレベルの清掃度が決定要因なので、わずかな磨耗も非常に重要です。 E6シリーズはIPAフラウンホファー認定を受けたクリーンルーム適合製品です。


シュミットテクノロジーシステムズ、マリヤン・ストラッガー氏、
ニーデルシャッハ、ドイツ
ウエハー技術

ここで使用された製品については、こちらをご覧ください。

さまざまな分野での使用事例は、こちらをご覧ください。

vector(ベクター)賞



以下の用語 "Apiro", "AutoChain", "CFRIP", "chainflex", "chainge", "chains for cranes", "ConProtect", "cradle-chain", "CTD", "drygear", "drylin", "dryspin", "dry-tech", "dryway", "easy chain", "e-chain", "e-chain systems", "e-ketten", "e-kettensysteme", "e-loop", "energy chain", "energy chain systems", "enjoyneering", "e-skin", "e-spool", "fixflex", "flizz", "i.Cee", "ibow", "igear", "iglidur", "igubal", "igumid", "igus", "igus improves what moves", "igus:bike", "igusGO", "igutex", "iguverse", "iguversum", "kineKIT", "kopla", "manus", "motion plastics", "motion polymers", "motionary", "plastics for longer life", "print2mold", "Rawbot", "RBTX", "readycable", "readychain", "ReBeL", "ReCyycle", "reguse", "robolink", "Rohbot", "savfe", "speedigus", "superwise", "take the dryway", "tribofilament", "triflex", "twisterchain", "when it moves, igus improves", "xirodur", "xiros" and "yes" は、イグスの商標でありドイツ連邦共和国及び他国において、法的に保護されています。しかしながら、ここにあげた商標はあくまで例示列挙したものであって、イグス、およびドイツ、ヨーロッパ連合、アメリカ合衆国、その他の国で事業を展開するイグスの子会社が有する商標を包括的に列挙したものではありません(例えば、出願中の商標や登録商標など)。

igus GmbHは、Allen Bradley、B&R、Baumüller、Beckhoff、Lahr、Control Techniques、Danaher Motion、ELAU、FAGOR、FANUC、Festo、Heidenhain、Jetter、Lenze、LinMot、LTi DRiVES、Mitsubishi、NUM、Parker、Bosch Rexroth、SEW、Siemens、Stöber各社、およびこのウェブサイト内で言及される他のすべてのモータケーブルメーカーのいかなる製品も販売していません。The products offered by igus® are those of igus® GmbH