〒130-0013 東京都墨田区錦糸1-2-1
アルカセントラル15階
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業種別
製品/用途別
国内使用事例
集積回路施設のウエハー技術に使用されたイグスのエナジーチェーンE6シリーズはその工程を加速させます。 最大加速度4m/s2、最大速度6m/sは、エエナジーチェーンE6シリーズで実現することができます。 切粉が発生する分野では、高いレベルの清掃度が決定要因なので、わずかな磨耗も非常に重要です。 E6シリーズはIPAフラウンホファー認定を受けたクリーンルーム適合製品です。