C6クリーンルームエナジーチェーン、e-spinガイドシステム付き

最長30mの延長に対応する革新的なクリーンルームソリューション、

新バージョンのC6クリーンルームエナジーチェーンには特別なガイドシステムが装備されており、クリーンルーム内の生産現場での非常に長い移動でも、エネルギーやデータガイド用にコンパクトで耐久性のあるエナジーチェーンの利点を活用することができます。

最長30mの移動に対応する当社の新しいクリーンルームソリューションは、決定的な優位性をご提供します

耐摩耗性に優れ、フラウンホーファー IPAを通じてISO認証を取得
信頼性の高い長距離移動
高度に自動化されたクリーンルーム環境に理想的なモジュール式でメンテナンスが容易

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技術を上げて

特殊ガイドを備えた革新的なクリーンルームソリューションにより、長距離移動でも実質的にほとんど粒子が発生しません

コストを下げる

1つのシステムで、長距離搬送時に粒子を発生させることなく、電源とデータを安全に供給

高性能

フラウンホーファーIPAを通じてISOクラス1-4の認証を取得した8メートルのコンプリートシステム

サステナビリティ

微粒子抑制による生産収率向上で資源節約を実現

クリーンルームでのウェーハ自動搬送

現代の半導体工場では、シリコンウェーハには、リソグラフィやエッチングからドーピングやメタライゼーションまで、数多くの工程があります。これらのプロセスは、多くの場合、互いに離れた場所にある別々の工場で行われます。清浄性やパーティクルフリーが厳しく要求されるため、クリーンルーム内では手作業による搬送は不可能です。その代わりに、自動搬送システム（AMHS）が、ウェーハカセット（FOUP - フロントオープンの一体型ポッド）を安全かつ効率的に長距離搬送します。実績のあるソリューションのひとつに、天井走行式無人搬送車（OHT）があります。これは、FOUPを天井に設置したレールを使って搬送するシステムで、クリーンルームのスペースを有効に活用することができます。

搬送に加えて保管も非常に重要です。いわゆるストッカーです。これらのシステムでは、エネルギーとデータの供給に関して厳しい要求が課されます。OHTユニットへの給電やデータ伝送には、信頼性の高いエネルギー供給システム（例：Ethernet、センサー技術）、動的に変化し手狭なことが多いクリーンルーム環境でも安全なケーブルガイドが必要です。

クリーンルーム用エナジーチェーン C6

最高のクリーンルーム適合性、ほとんど摩耗が無く高強度

耐摩耗性は、クリーンルーム内でエナジーチェーンを使う際、非常に重要となるパラメーターです。ここでは、エナジーチェーンC6が新たな標準となっています。摩擦はほとんど計測できません。新しいクリーンルーム用エナジーチェーンC6を使用した場合、高い負荷がかかっても摩耗が測定されないという、最高の結果を得ることができました。さらに、動作音が非常に静かであることや、設置が容易であることも利点です。

[NEU] 内高さ22mmも登場しました。外周のすべてのリンクにクロスバーを配置して最適化しました。標準仕様にイグリデュールJ製の内部仕切りとクロスバーを採用したことで、あらゆる種類のケーブルジャケットやホース材料に、最適な滑走面をご提供できるようになりました。さらに、連結リンクのサイドパーツをトライボロジーの知見を用いて最適化した低摩耗ESD材質で製作して標準装備しています。新しい組立ツールにより、エナジーチェーンはさらに簡単に素早く開閉することができます。

代表的な採用分野電気製造、半導体産業、FPD製造、マイクロエレクトロニクス、パネルロボット、パッケージング、プロッタ、医療技術

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