ユーザーレポート年間3100万サイクル以上のクリーンルーム用ケーブル

• 必要なもの リボンケーブル e-skin® flat
• 必要条件高精度、短いサイクルタイム、連続運転での信頼性
• 業界半導体製造
• お客様の成功このアプリケーションは、サイクルタイムが約1秒、年間3100万サイクル以上であることが1年間実証されています。

ハイデルベルグ・インスツルメンツ社のVolume Pattern Generator" システム（略してVPG）は、主に工業用大量生産に使用されている。UVレーザーを使用してフォトマスクを高精度かつ高速に生成し、マイクロチップ、センサー、LED、MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems：微小電気機械システム）の製造用テンプレートとして使用される。VPGシステムのその他の用途としては、ウェハーへの微細構造の直接描画が考えられる。

非常に高い精度に加え、24時間365日稼動と1秒単位の非常に短いサイクルタイムが、このシステムのドライブの要件プロファイルの一部となっている。ミヒャエル・カッペル、電気設計責任者："そのため、エアベアリングXYテーブルを含む多くのコアコンポーネントを社内で開発しています。" 露光工程はクリーンルーム条件下で行われるため、駆動部品もそれに合わせて選択する必要があります。これは特に、XYテーブルへのエネルギー、信号、メディアの供給ラインに当てはまります。わずかな塵埃でも露光の質を損ないます。もう一つの要件は、少なくとも同じくらい重要です。カッペルです："露光の精度を低下させるので、エネルギー供給経路のわずかな乱れも避けなければなりません。"

この開発プロジェクトの中で、イグス® は、e-skin® flat を発表した。これは、従来使用されていたチェーンを使用しない新しいケーブルキャリアのコンセプトである。その代わりに、ケーブルとホースは、必要に応じて個別に開閉できる平らなプロファイル、いわゆるポッドに案内されます。このコンパクトなシステムは、曲げ半径が非常に小さく、移動中の摩耗や磨耗に強い。これは、フラウンホーファーIPAが実施した試験で確認されたように、多層構造であってもクリーンルームで使用できることを意味する。ハイデルベルクの設計エンジニアは、この新しいエネルギー供給装置を使った耐久試験用のデモンストレーターを製作し、イグス® の試験ラボで ISO 1 に準拠した 1 億 2000 万サイクルを完了した。igus® が締結部品の最終調整を行い、"小型" VPG および ULTRA システム用の新しいエネルギー供給システムが完成しました。

このソリューションは、サイクルタイムが約 1 秒という非常に動的なアプリケーションでも、年間 3100 万サイクル以上の実績があります。 ハイデルベルグ・インスツルメンツでは、耐摩耗性 TPE ジャケットの高品質イグス® chainflex® ケーブルを使用しています。