連絡先
イグス株式会社

〒130-0013 東京都墨田区錦糸1-2-1

アルカセントラル15階

03(5819)2030
03(5819)2055

 

ISOクラス1迄のクリーンルーム向け製品

半導体製造装置やマイクロエレクトロニクスにおける ピックアンドプレース用途に。
イグスは技術を上げてコストを下げるクリーンルーム向け製品を提供

クリーンルームではいかなる汚染も製品やプロセスに悪影響をおよぼすため、可動部品には高い耐摩耗性が求められます。 それには当然コストがかかります。 イグスは高性能ポリマー製品を開発し、自社クリーンルーム試験室で細心の注意を払って試験を行っています。加えて、クリーンルーム適合性を証明するため、製品はフラウンホーファー研究所にて更なる試験を受けます。 これによりイグスでは、IPA試験済みの製品ポートフォリオを、可能な限り最高のクリーンルーム分類(ISOクラス1)で提供することが可能になります。

イグスのクリーンルーム製品の利点:

  • 省スペース・軽量
  • 静音、低振動
  • 短納期、取付が簡単
  • エナジーチェーンは開閉が簡単で、ケーブルを素早く交換可能
  •  無償交換保証付きの長い耐用年数: 5000万往復ストローク以上
  • エナジーチェーン、ケーブル、コネクタは単体でも組立品としても1個から注文可能、すべてを1社から提供 


注目製品を5分でご紹介

クリーンルーム向け新提案

、技術を上げて、コストを下げる:例えば、新しいe-skin flatを使用すれば可能です。このe-skin flatはモジュラー式のフラットなケーブルガイドで、閉じると密閉されますが簡単に開いて数分でケーブルを交換することができます。
 
これら多くの新製品の詳細を、広さ400 m2の展示ブースでご覧ください。1人でバーチャル展示会を見回ることも、イグスの担当者と一緒に見ることも可能です。

「バーチャル訪問」を予約する

モジュラー式でケーブルを素早く収納可能なケーブルキャリア

開閉が簡単なクリーンルーム用ケーブル保護管、設置高さ 200 mm以下

開閉が容易なフリースパン走行用クリーンルーム向けケーブル保護管


業界別ソリューション



クリーンルーム対応製品

エナジーチェーン

クリーンルーム向けエナジーチェーン

クリーンルームで使用されるエナジーチェーンには、優れた耐摩耗性が必要です。発生した微粒子が空中に飛散し、厳しい制限基準値を上回り、該当エリアを汚染してはいけません。

クリーンルーム用エナジーチェーン

可動ケーブル及びホース

クリーンルーム対応チェーンフレックスケーブル

IPA ISOクラス1及び2のエアホース、豊富な可動ケーブル。Bosch Rexroth、Festo、Parker、Siemensを始めとした多数のメーカーに適合する、すぐに接続可能なハーネス品もご用意。

クリーンルーム向け可動ケーブル

リニアガイド

クリーンルームに対応したドライリン リニアガイド

イグスはクリーンルーム向けの無給油リニアガイドの製品ラインナップにおいて、ISOクラス6~3に対応した4つのモデルを提供しています。

クリーンルーム用ドライリン

クリーンルームクラス別の製品ラインナップ

ISO 14644-1FED STD 209EGMP(非動作)最大粒子数(0.5ミクロン)m³最大粒子数(0.5ミクロン) f³基準を満たすイグス製品
1N/A N/A エナジーチェーンケーブルコルゲートチューブエアホース
2N/A N/A 同上
31 35 同上 + リニアガイド
410 352 同上
5100A/B3.520100同上
61.000 35.200997同上
710.000C352.0009.967同上
8100.000D3.520.00099.675同上
9N/A 35.200.000996.747同上
 

GMPとFED STD 209Eのデータは、あくまでも大まかな比較用であり、細菌汚染などの他の要因は考慮していません。 お客様のプロジェクトに合った構成をお探ししますので、お気軽にご相談ください。


お客様の迅速な開発をサポートするISO 14644-14準拠のクリーンルームテスト


クリーンルームに適合する新たな可動部向け製品を一段と迅速に開発するため、開発・認証におけるパートナーであるフラウンホーファー研究所(IPA)は、イグスの依頼を受けて、ISOクラス1のクリーンルームに対応する専用試験室をケルンにて設計し構築しました。
この新しい試験室により、事前のユーザーテストや新規開発を短期間で実際の使用条件の下行うことが可能です。
 

イグスのクリーンルーム試験室について

クリーンルーム使用事例


クリーンルーム製品に関するQ&A

クリーンルーム製品は高まり続ける要件に対応しているのでしょうか?
クリーンルーム内で求められる必要条件が、ユーザー側からだけでなく、試験基準面でも厳しさを増す中、イグスは絶え間ない製品改良を行っています。 そのためイグスは社内試験施設において1997年からクリーンルーム適合試験 を行っています。該当製品は更に、フラウンホーファー研究所で外部試験が実施されます。
 
イグスのすべり軸受はクリーンルームに対応していますか?
イグスのイグリデュールすべり軸受がクリーンルームに対応しているかどうかは、用途において放出される摩耗粒子で計測されます。摩耗粒子のサイズや量は 以下の条件で異なります:

  • 軸とすべり軸受材質の組合せ
  • 負荷や速度等、その他の使用パラメータ
このような理由から、イグスのすべり軸受に関して、クリーンルーム向け材質は用途によって異なるため、明確には規定できません。 当社が適切な材質選定をサポートします (お問合せフォームはこちら).

クリーンルーム向け製品ラインナップ 例:弊社エナジーチェーンの利用

さらに詳しく

クリーンルーム対応製品パンフレット

クリーンルーム製品パンフレット

クリーンルームクラス、RoHS、ESDに関するイグス製品の情報

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ESDおよびクリーンルーム向け製品ラインナップ

ESD対策向け情報

イグスのESD対策向けイグミッド材質に関する詳細情報。

メンテナンスフリーの導電性、イグミッドESD