クリーンルームではいかなる汚染も製品やプロセスに悪影響をおよぼすため、可動部品には高い耐摩耗性が求められます。 それには当然コストがかかります。 イグスの高機能ポリマー製品は、社内の試験室で細心の注意を払って試験されています。加えて、クリーンルーム適合性を証明するため、製品はフラウンホーファー研究所にて更なる試験を受けます。 これによりイグスでは、IPA試験済みの製品ポートフォリオを、可能な限り最高のクリーンルーム分類（ISOクラス1）で提供することが可能になります。
▲ 技術向上
e-skinと比べて、取付け高さは32%低減
Ecoflexクリーンケーブルに比べて6dB(A)静音
ジッパー式開閉により組立・取付が迅速
最低注文数量なし ― 1本から注文可能
▲ 技術向上
開閉可能、フリースパン長さ28%延長
e-skinと比べて、取付け高さ13%低減
SKSシリーズよりも17%低コスト
収納ケーブルのメンテナンスや点検が容易
▲ 技術向上
非常にコンパクトな構造
2つのバリエーション: 密閉型と開閉可能型、内高さ2種類
用途に合わせた長さの短縮または幅の拡張が可能
市販の「クリーンケーブル」と比較し約20%低コスト
▲ 技術向上
e-skin® flat SKF.Sによる フリースパン走行の実現
e-skin flat向けに規定された曲げ半径
優れた柔軟性、特注品ではなく標準組立キット
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クリーンルームで使用されるエナジーチェーンには、優れた耐摩耗性が必要です。発生した微粒子が空中に飛散し、厳しい制限基準値を上回り、該当エリアを汚染してはいけません。
クリーンルーム対応に加え、ESD対策も。硬質アルマイト処理アルミニウムとイグリデュールJとの組合せで、最高等級のESD対策「レベル1」を取得。
無潤滑の樹脂製ナットは、全耐用年数にわたり潤滑油やグリスが一切不要です。 これにより、運転中の送りねじの乾燥を保ち、最高レベルの清浄度が求められる場所に適しています。
幅広いケーブルラインナップ。918種がクリーンルーム等級IPA ISOクラス1、166種がIPA ISOクラス2。
耐摩耗性だけでなく、油やクーラントにも強く、高い要件に対応。 これらのホースは既に、ISO 1までの多くのクリーンルームプロジェクトで使われています。
使用されるシャフト、負荷、速度、および他の要因は、アプリケーションで放出される摩耗粒子のサイズと量に影響を与えます。 そのため、理想的な材質は用途によって異なります。
| ISO 14644-1 | FED STD 209E | GMP (非動作) | 最大粒子数(0.5ミクロン)m³ | 最大粒子数(0.5ミクロン) ft³ | 基準を満たすイグス製品 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | N/A | N/A | エナジーチェーン、[Link pagenr="3420" title="ケーブル"parameter="#section_5"]、コルゲートチューブ、 | ||
| 2 | N/A | N/A | 同上 | ||
| 3 | 1 | 35 | 同上 + リニアガイド | ||
| 4 | 10 | 352 | 同上 | ||
| 5 | 100 | A/B | 3.520 | 100 | 同上 |
| 6 | 1.000 | 35.200 | 997 | 同上 | |
| 7 | 10.000 | C | 352.000 | 9.967 | 同上 |
| 8 | 100.000 | D | 3.520.000 | 99.675 | 同上 |
| 9 | N/A | 35.200.000 | 996.747 | 同上 |
GMPとFED STD 209Eのデータは、あくまでも大まかな比較用であり、細菌汚染などの他の要因は考慮していません。 お客様のプロジェクトに合った構成をお探ししますので、お気軽にご相談ください。
液体を扱う実験装置に台形送りねじナット ドライリンTRが使用されました。 低い摩擦係数はクリーンルームでの使用に有利となり、 高効率につながります。
無潤滑のため、潤滑剤による汚染が回避されます。
FIXLOADの製造には高い空気清浄度を必要とします。 これは、300ｍｍウエハプロセス用のロード・インターフェースの加工範囲が、非常に細かく繊細であるためです。 加工されるウエハはローディング時、周囲環境に晒されるため、粒子発生は容認されません。
そのため、 ISOクラス3(DIN EN ISO 146441-1準拠)を取得した 耐摩耗性のエナジーチェーンが採用されました。
クリーンルーム製品は高まり続ける要件に対応しているのでしょうか？
クリーンルーム内で求められる必要条件が、ユーザー側からだけでなく、試験基準面でも厳しさを増す中、イグスは絶え間ない製品改良を行っています。 そのためイグスは社内試験施設において1997年からクリーンルーム適合試験 を行っています。該当製品は更に、フラウンホーファー研究所で外部試験が実施されます。
イグリデュールすべり軸受のクリーンルーム適合性を左右する要因は?
イグリデュールすべり軸受のクリーンルーム適合性は、可動中に放出された摩耗粒子で計測されます。摩耗粒子のサイズや量は 以下の条件で異なります:
クリーンルーム適合性に関するイグス自社試験施設における事前試験。
クリーンルームクラス、RoHS、ESDに関するイグス製品の情報
イグスのESD対策向けイグミッド材質に関する詳細情報。
