ISOクラス1に対応したクリーンルーム向け製品

半導体製造やマイクロエレクトロニクスで使用されるディプレイロボットやピック&プレース作業向けのコンポーネント

  • 設置スペースと重量を節約
  • 静音でスムーズな動作
  • 迅速な納品と簡単な組み立て
  • エナジーチェーンが簡単に開閉できるため、ケーブル交換が容易
  • 長寿命を検証済み―5,000万回以上の往復回数をテスト
  • チェーン、ケーブル、コネクターは、バッチサイズ1から個別に入手可能、またはサプライヤー1社からシステム一式を入手可能

クリーンルーム対応製品

エナジーチェーン

クリーンルームに対応するエナジーチェーン

ケーブル・ホース類

クリーンルームに対応するケーブルとホース

リニアガイド

クリーンルームに適したドライリンTニアガイド

ロータリーテーブルベアリング

クリーンルーム向けPRT ロータリーテーブルベアリング

クリーンルームクラス別製品

ISO 14644-1FED STD 209E GMP(非作業時) 最大許容パーティクル (0.5ミクロン) /m³ 最大許容パーティクル (0.5ミクロン) /f³ 基準を満たすイグス製品
1N/A N/A エナジーチェーン, ケーブル, コルゲートチューブ, エアホース
2N/A N/A 上記参照
3135 上記参照 + リニアガイド
410352上記参照
5100A & B 3,520 100 上記参照
61,00035,200997 上記参照
710,000C352,000 9,967上記参照
8100,000D3,520,000 99,675 上記参照
9N/A 35,200,000 996,747 上記参照

ISO 14644-14に従ってクリーンルームテストを実施して、迅速に製品開発


クリーンルーム技術製品に関するQ&A

クリーンルームで使用できる当社製品
  • シャフトとベアリングの材質、負荷や速度などその他の作業パラメーターとの組み合わせにより、それぞれに異なります。

クリーンルームでの使用事例

電子機器製造の位置決めシステムで使う耐久性に優れたエネルギー供給システム

電子機器製造における位置決めシステム

カメラモジュールの接着剤ディスペンサーに、クリーンエネルギーを供給

Mingseal社のカメラモジュール用接着剤ディスペンサー

反応容器の充填システムで使う無潤滑の送りねじおよびリニア技術

研究施設での充填システム

クリーンルーム3Dプリンター

クリーンルーム用3Dプリンタ

高精度調整用のエアベアリングを使ったリニアシステム

エアベアリング付きリニアシステムに使用されるe-skin flat

半導体製造におけるエネルギー供給システム

半導体を製造するクリーンルームでの使用事例

ウェハーハンドリング

半導体を製造するクリーンルームでの使用事例

実験室装置用ドライリンTR多条ねじナット

流体処理用の実験室での使用

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クリーンルームパンフレット

クリーンルーム製品カタログ

イグスコーナー

XXLサンプルBOX

ESD対応製品

ESDに関する情報

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【インダストリーマネージャー】 高田

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