クリーンルームではいかなる汚染も製品やプロセスに悪影響をおよぼすため、可動部品には高い耐摩耗性が求められます。 それには当然コストがかかります。 イグスは高性能ポリマー製品を開発し、自社クリーンルーム試験室で細心の注意を払って試験を行っています。加えて、クリーンルーム適合性を証明するため、製品はフラウンホーファー研究所にて更なる試験を受けます。 これによりイグスでは、IPA試験済みの製品ポートフォリオを、可能な限り最高のクリーンルーム分類(ISOクラス1)で提供することが可能になります。
イグスのクリーンルーム製品の利点：
今年、当社は168の新提案をリリースします。産業マネージャーのピーター・マトネットが、4分で新提案をご紹介します。これには、e-skin専用のリング状内部仕切りパーツなどが含まれます。
開閉が簡単なクリーンルーム用ケーブル保護管、設置高さ 200 mm以下
モジュラー式でケーブルを素早く収納可能なケーブルキャリア
開閉が容易なフリースパン走行用クリーンルーム向けケーブル保護管
どのエネルギー供給システムが用途に最適か分からないということはありませんか？
選定ガイドでは、数回クリックするだけで、適切なソリューションを見つけることができます。
イグスコーナーでは、各業界に適した最新のモーション･プラスチックをいつでも手にすることができます。
当社が展示品をお持ちし、ご希望製品をご希望場所に設置します。またはご自身で設置していただくことも可能です。コーナーは常設展示として、または期間限定でご利用いただけます。
無料ホワイトペーパー（英語版PDF）：
クリーンルームで使用されるエナジーチェーンには、優れた耐摩耗性が必要です。発生した微粒子が空中に飛散し、厳しい制限基準値を上回り、該当エリアを汚染してはいけません。
IPA ISOクラス1及び2のエアホース、豊富な可動ケーブル。Bosch Rexroth、Festo、Parker、Siemensを始めとした多数のメーカーに適合する、すぐに接続可能なハーネス品もご用意。
PRT-04-100のイグリデュールJ製すべりパッドは、粉塵の発生を最小限に抑えることができるため、クリーンルームでの使用が可能です。
| ISO 14644-1 | FED STD 209E | GMP(非動作) | 最大粒子数(0.5ミクロン)m³ | 最大粒子数(0.5ミクロン) f³ | 基準を満たすイグス製品 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | N/A | N/A | エナジーチェーン、ケーブル、コルゲートチューブ、エアホース | ||
| 2 | N/A | N/A | 同上 | ||
| 3 | 1 | 35 | 同上 + リニアガイド | ||
| 4 | 10 | 352 | 同上 | ||
| 5 | 100 | A/B | 3.520 | 100 | 同上 |
| 6 | 1.000 | 35.200 | 997 | 同上 | |
| 7 | 10.000 | C | 352.000 | 9.967 | 同上 |
| 8 | 100.000 | D | 3.520.000 | 99.675 | 同上 |
| 9 | N/A | 35.200.000 | 996.747 | 同上 |
GMPとFED STD 209Eのデータは、あくまでも大まかな比較用であり、細菌汚染などの他の要因は考慮していません。 お客様のプロジェクトに合った構成をお探ししますので、お気軽にご相談ください。
クリーンルームに適合する新たな可動部向け製品を一段と迅速に開発するため、開発・認証におけるパートナーであるフラウンホーファー研究所(IPA)は、イグスの依頼を受けて、ISOクラス1のクリーンルームに対応する専用試験室をケルンにて設計し構築しました。
この新しい試験室により、事前のユーザーテストや新規開発を短期間で実際の使用条件の下行うことが可能です。
イグスのPVC及びTPE外被ケーブル収納した4室式のe-skin flat SKF12.4.03.01.1が、エアベアリング付きリニアガイドへの電力供給を確実に行います。
FIXLOADの製造には高い空気清浄度を必要とします。 これは、300ｍｍウエハプロセス用のロード・インターフェースの加工範囲が、非常に細かく繊細であるためです。 加工されるウエハはローディング時、周囲環境に晒されるため、粒子発生は容認されません。
そのため、 ISOクラス3(DIN EN ISO 146441-1準拠)を取得した 耐摩耗性のエナジーチェーンが採用されました。
E6シリーズのエナジーチェーンであれば、最大速度6m/s、最大加速度4m/s2 での、チップ製造におけるウェハーのハンドリング装置へのエネルギー供給も問題ありません。
液体を扱う実験装置に台形送りねじナット ドライリンTRが使用されました。 低い摩擦係数はクリーンルームでの使用に有利となり、 高効率につながります。
無潤滑のため、潤滑剤による汚染が回避されます。
クリーンルーム製品は高まり続ける要件に対応していますか？
クリーンルーム内の用途に対する品質要求事項は、お客様からの要求事項や試験基準とともに高まり続けているため、イグスは継続的な製品の改善に取り組んでいます。このため、イグスは1997年から社内試験施設でクリーンルームの適合性に関する試験を実施しています。 該当製品はさらに、フラウンホーファー研究所による外部試験を受けています。
イグスのベアリングはクリーンルームに適していますか？
イグリデュールすべり軸受のクリーンルーム適合性は、用途において放出される摩耗粒子に基づいて決定されます。放出される摩耗粒子のサイズと量は、以下の条件によって異なります。
クリーンルームクラス、RoHS、ESDに関するイグス製品の情報
イグスのESD対策向けイグミッド材質に関する詳細情報。
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