クリーンルームではいかなる汚染も製品やプロセスに悪影響をおよぼすため、可動部品には高い耐摩耗性が求められます。 それには当然コストがかかります。 イグスは高性能ポリマー製品を開発し、自社クリーンルーム試験室で細心の注意を払って試験を行っています。加えて、クリーンルーム適合性を証明するため、製品はフラウンホーファー研究所にて更なる試験を受けます。 これによりイグスでは、IPA試験済みの製品ポートフォリオを、可能な限り最高のクリーンルーム分類(ISOクラス1)で提供することが可能になります。
イグスのクリーンルーム製品の利点：
► IPA ISO クラス1準拠でクリーンルームに対応
► コンパクトなモジュラー式
► ケーブルはすぐに交換可能
► 調整済みの 適合するCFCLEANケーブル使用で、高い信頼性を実現
► 5700万往復ストロークを超える製品寿命
► 在庫から出荷可能
► 最低発注数量なし
開閉が簡単なクリーンルーム用ケーブル保護管、設置高さ 200 mm以下
開閉が容易なフリースパン走行用クリーンルーム向けケーブル保護管
2020年の全新提案 - バーチャル展示会ブースでも
無料ホワイトペーパー：
クリーンルームで使用されるエナジーチェーンには、優れた耐摩耗性が必要です。発生した微粒子が空中に飛散し、厳しい制限基準値を上回り、該当エリアを汚染してはいけません。
IPA ISOクラス1及び2のエアホース、豊富な可動ケーブル。Bosch Rexroth、Festo、Parker、Siemensを始めとした多数のメーカーに適合する、すぐに接続可能なハーネス品もご用意。
イグスはクリーンルーム向けの無給油リニアガイドの製品ラインナップにおいて、ISOクラス6～3に対応した4つのモデルを提供しています。
| ISO 14644-1 | FED STD 209E | GMP (非動作) | 最大粒子数(0.5ミクロン)m³ | 最大粒子数(0.5ミクロン) ft³ | 基準を満たすイグス製品 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | N/A | N/A | エナジーチェーン、ケーブル、コルゲートチューブ、 | ||
| 2 | N/A | N/A | 同上 | ||
| 3 | 1 | 35 | 同上 + リニアガイド | ||
| 4 | 10 | 352 | 同上 | ||
| 5 | 100 | A/B | 3.520 | 100 | 同上 |
| 6 | 1.000 | 35.200 | 997 | 同上 | |
| 7 | 10.000 | C | 352.000 | 9.967 | 同上 |
| 8 | 100.000 | D | 3.520.000 | 99.675 | 同上 |
| 9 | N/A | 35.200.000 | 996.747 | 同上 |
GMPとFED STD 209Eのデータは、あくまでも大まかな比較用であり、細菌汚染などの他の要因は考慮していません。 お客様のプロジェクトに合った構成をお探ししますので、お気軽にご相談ください。
クリーンルームに適合する新たな可動部向け製品を一段と迅速に開発するため、開発・認証におけるパートナーであるフラウンホーファー研究所(IPA)は、イグスの依頼を受けて、ISOクラス1のクリーンルームに対応する専用試験室をケルンにて設計し構築しました。
この新しい試験室により、事前のユーザーテストや新規開発を短期間で実際の使用条件の下行うことが可能です。
イグスのPVC及びTPE外被ケーブル収納した4室式のe-skin flat SKF12.4.03.01.1が、エアベアリング付きリニアガイドへの電力供給を確実に行います。
FIXLOADの製造には高い空気清浄度を必要とします。 これは、300ｍｍウエハプロセス用のロード・インターフェースの加工範囲が、非常に細かく繊細であるためです。 加工されるウエハはローディング時、周囲環境に晒されるため、粒子発生は容認されません。
そのため、 ISOクラス3(DIN EN ISO 146441-1準拠)を取得した 耐摩耗性のエナジーチェーンが採用されました。
E6シリーズのエナジーチェーンであれば、最大速度6m/s、最大加速度4m/s2 での、チップ製造におけるウェハーのハンドリング装置へのエネルギー供給も問題ありません。
液体を扱う実験装置に台形送りねじナット ドライリンTRが使用されました。 低い摩擦係数はクリーンルームでの使用に有利となり、 高効率につながります。
無潤滑のため、潤滑剤による汚染が回避されます。
クリーンルーム製品は高まり続ける要件に対応しているのでしょうか？
クリーンルーム内で求められる必要条件が、ユーザー側からだけでなく、試験基準面でも厳しさを増す中、イグスは絶え間ない製品改良を行っています。 そのためイグスは社内試験施設において1997年からクリーンルーム適合試験 を行っています。該当製品は更に、フラウンホーファー研究所で外部試験が実施されます。
イグスのすべり軸受はクリーンルームに対応していますか？
イグスのイグリデュールすべり軸受がクリーンルームに対応しているかどうかは、用途において放出される摩耗粒子で計測されます。摩耗粒子のサイズや量は 以下の条件で異なります:
クリーンルームクラス、RoHS、ESDに関するイグス製品の情報
イグスのESD対策向けイグミッド材質に関する詳細情報。
