クリーンルームでの高速運転
ウエハー技術
集積回路施設のウエハー技術に使用されたイグスのエナジーチェーンE6シリーズはその工程を加速させます。 最大加速度4m/s2、最大速度6m/sは、エエナジーチェーンE6シリーズで実現することができます。 切粉が発生する分野では、高いレベルの清掃度が決定要因なので、わずかな磨耗も非常に重要です。 E6シリーズはIPAフラウンホファー認定を受けたクリーンルーム適合製品です。
シュミットテクノロジーシステムズ、マリヤン・ストラッガー氏、
ニーデルシャッハ、ドイツ
