Eチェーン - クリーンルーム試験
クリーンルームで使用する可動装置には、特に高いクリーン条件が求められます。 ケーブル保護管Ｅ6およびＥ14は、IPA(フラウンホーファー生産工学自動化研究所)のクリーン・マイクロ・プロダクション部で試験された製品です。試験結果
Ｅ6シリーズは、走行速度 1m/s および2m/s で、ISOクラス3 ( DINE EN ISO 146441-1) に認定（VDI 2083 8頁「機器のクリーンルーム適応性」準拠）。 Ｅ14のエナジーチェーンは、走行速度1ｍ/sで、クリーンルームＩＳＯクラス2に適合します。 ここで特徴的なのは、テストされたイグスケーブル保護管4本は、いずれも標準製品で、特殊材質ではなかったという点です。
イグスは、世界で通用する認証を受けた最適な製品を、お客様のニーズに応じてご提供いたします。
ブルックス社のクリーンルームに使用されるイグス エナジーチェーン
ブルックス社では、ロード・ポート「フィックスロード」の製造において、高い空気清浄度を必要とします。 これは、300ｍｍウェハプロセス用のロード・インターフェースの加工範囲が、非常に細かく繊細であるためです。 加工されるウェハはローディング時、周囲環境に露出される、使用されるケーブル保護管が高いクリーンルーム対応性を備えることが特に重要になります。ブルックス社の試験では、イグスのエナジーチェーンは長期試験においても摩耗がないことが確認されました。
使用製品：Eチェーンジッパー
吊り下げ型、 ストローク：290m、サイクル数：50～60回/時間、3シフト製造。
その他の特長 :
イグス独自（特許取得済み）のジッパー方式は、短時間でのケーブルの収納が可能で、高いケーブル保護性を持ちます。 そのため稼動時の安全性と製品寿命を向上が可能です。
