コストを下げて & 技術を上げる
半導体製造装置向け
モーション・プラスチック

半導体製造装置向けフラットケーブルキャリア&専用ケーブル

ISOクラス1対応、ケーブル交換可能、優れた耐摩耗性

半導体メーカーは、生産性の向上に取り組んでいます。 そこで重要になるのが設備総合効率(OEE)であり、これはイグスのソリューションで向上させることができます。 クリーンルーム向けケーブルキャリア及びケーブルは、耐摩耗性に優れたアウトガスの少ない高性能樹脂製により、高い製造品質を支えます。 これらの製品はコンパクトでメンテナンスの手間がかからず、取付も簡単で、低コストです。 さらにモジュラー式のため、製品の拡張をいつでも簡単に行えます。 世界中の半導体製造において装置の効率を向上させる製品は、特にレーザーマーキング装置、EUV露光装置および基板外観検査装置(AOI)で使用されています。

イグス製品のメリット:

  • クリーンルームおよびESD対応
  • アウトガスがわずか
  • コンパクトで軽量
  • 低コスト
  • オンライン寿命予測計算可能
  • メンテナンスフリー(24時間365日使用可能)
  • 取付が容易
  • 静音、低振動
  • 組立品でも単体でも1個から提供
  • 迅速な出荷

半導体製造装置に最適な製品

フラットケーブルガイドシステム e-skin flat + CFCLEANケーブル

► IPA ISO クラス1準拠でクリーンルームに対応
► コンパクトなモジュラー式
► ケーブルはすぐに交換可能
► 適合するCFCLEAN使用で、高い信頼性を実現
► 在庫から出荷可能
► 最低発注数量なし
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お客様の使用事例