ドライリンのクリーンルーム適合性およびESD互換性およびRoHS

試験されたドライリン リニアガイドは、クリーンルーム適合性を明確に示しました。 ただし、個々のクリーンルームクラスは速度や負荷によって異なることがあります。 硬質アルマイト処理アルミニウムとイグリデュールJとの組合せは、SEMI E78-0998に準拠したESD適合性において「レベル1」(最高評価)を取得しています。
 
ドライリン リニアガイドは全て無潤滑使用向けに設計され、無潤滑下で試験済みです。 追加の潤滑油やグリスは使用していません。
以下のドライリン リニアガイドを試験しました: N40、W10、T25、T30。

ドライリンリニアガイ NK-02-40-02

イグスのドライリンリニアガイドシステム NK-02-40-02 は、各検出レベル (0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm、 5 μm ) で限界値を超える確率の計算によって (速度v = 1 m/s)、クリーンルームへの高い適合性ISOクラス 6 (DIN EN ISO 14644-1 準拠) を示します。 
ESD適合性の測定結果 (SEMI E78-0998準拠) は、ドライリンリニアガイドシステム NK-02-40- 02 が「レベル1」最高ランクに等級付けされることを示します。フラウンホーファー協会IPA (機器性能評価保証機構) の報告書No.: IG 0308- 295 73

ドライリン リニアガイドTK-01-30-01

イグスのドライリンリニアガイドシステム TK-10-30-01 は、各検出レベル (0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm、 5 μm ) で限界値を超える確率の計算によって (速度v = 0.1 m/s)、クリーンルームへの高い適合性ISOクラス 3 (DIN EN ISO 14644-1 準拠) を示します。 

ドライリン リニアガイドTK-01-25-02

イグスのドライリンリニアガイドシステム TK-01-25-02 は、各検出レベル (0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm、 5 μm ) で限界値を超える確率の計算によって (速度v = 1 m/s)、クリーンルームへの高い適合性ISOクラス 5 (DIN EN ISO 14644-1 準拠) を示します。" 
ESD適合性の測定結果 (SEMI E78-0998準拠) は、リニアガイド ドライリン TK-01-25-02 が「レベル1」最高ランクに等級付けされることを示します。

リニアガイド ドライリンWK-10-40-15-01

イグスのドライリンリニアガイドシステム WK-10-40-15-01 は、各検出レベル (0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm、 5 μm) で限界値を超える確率の計算によって (速度v = 1 m/s) 、クリーンルームへの高い適合性ISOクラス 6 (DIN EN ISO 14644-1 準拠) を示します。 
ESD適合性の測定結果 (SEMI E78-0998準拠) は、ドライリンリニアガイドシステム WK-10-40-15-01 が「レベル1」最高ランクに等級付けされることを示します。フラウンホーファー協会IPA (機器性能評価保証機構) の報告書No.: IG 0308-295 74

ドライリンNK-02-40-02

摩耗粒子の測定

ドライリンTK-01-25-02

摩耗粒子の測定

ドライリンWK-10-40-15-01

摩耗粒子の測定

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